Protection bar

• 설비 Safety 가드 역할을 함

• 비접촉식 잠금 / 해제를 통하여 미세 파티클과 같은 이물질 발생을 제거 할 수 있으며, 유지 보수가 용이한 반도체 제조장비의 프로텍션 시스템을 제공

• 장비가 작동중인 경우는 가장 낮은 위치에 있다가 작동이 중지되면 상부 방향으로 수직이동하여 높은지점에 위치하는 특징